Precursoren wie Molybdenum hexacarbonyl (CAS Nummer 13939-06-5) und Tungsten hexa-carbonyl (CAS Nummer 14040-11-0) kommen in verschiedenen Industriezweigen zur Anwendung und sind dabei ein unverzichtbarer Bestandteil von definierten Prozessen. Dabei wird das Produkt in der Regel als Katalysator genutzt, um z.B. Kohlenwasserstoffe zu Cracken oder organische Synthesen durchzuführen. Interessant wird die Eigenschaft des Zerfalls des Produktes in Molybdänmetall oder ähnliche reaktive Substanzen.

Daher eignet es sich hervor-ragend zur Herstellung von dünnen Beschichtungen (Dünnschichtbeschichtung) mittels Gas-abscheidungsverfahren, bekannt unter dem Kürzel CVD-Beschichtung. Typische Anwendungs-gebiete sind hier der Werkzeugbau oder auch die Elektronikindustrie. Somit ist das Produkt ein bedeutender Bestandteil der Prozesse für die Halbleiterindustrie.

Die Prozessierung der Herstellung von Metallcarbonylen wurde in den 30er bis 50er Jahren des 20. Jahrhunderts in der Fachliteratur erwähnt. Diverse Quellen berichteten über Wege, die gewünschten Metallcarbonyle mit entsprechenden Erträgen herstellen zu können. Entschei-dende Bedeutung kommt der Nutzung von sogenannten Autoklaven zu.

Mithilfe eines erhöhten Drucks und gesteigerten Temperaturen wird die Reaktion von Metallchloriden zu Metallcarbo-nylen herbeigeführt. Die Entwicklung und Herstellung der entsprechenden Autoklaventechnik wurde durch die KIMW-Forschungsstelle nach intensiver Entwicklungsarbeit durchgeführt. Für eine sichere Betriebsführung, um einen hohen Reinheitsgrad (99,9%) zu erreichen, waren langwierige und aufwendige Untersuchungen der Reaktionskinetik notwendig.

Insbesondere wurde ein Verständnis für den Einfluss der Reaktorgeometrie und der dynamischen Reaktions-führung entwickelt, sodass ein hoher Grad für die Aufreinigung erreicht wird. Die KIMW-Forschungsstelle ermöglicht nun die kurzfristige Bereitstellung aufgereinigter Metall-Hexacarbo-nylen für den europäischen Markt.